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科磊(KLA)半導體設備氣動(dòng)隔振系統的頻率

來(lái)源：上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時(shí)間：2023-05-16 10:11

 

對于科磊(KLA)半導體設備氣動(dòng)隔振系統和許多儀器和科學(xué)研究實(shí)驗，特別是一些涉及高精度位置檢測和微力檢測的儀器，地球脈動(dòng)噪聲和環(huán)境噪聲一直是影響其性能和結果的主要因素，因此氣動(dòng)隔振系統起著(zhù)重要作用。扭轉秤系統通常用于驗證等效性原理或測量萬(wàn)有引力常數，地面振動(dòng)噪聲會(huì )對測量結果產(chǎn)生很大影響；在評估加速度計的基本噪聲時(shí)，還需要隔離地面的振動(dòng)噪聲；引力波探測器的臂長(cháng)約為4km邁克耳孫干涉儀組成，對環(huán)境噪聲敏感，需要性能好的隔振系統提供理想的慣性參考點(diǎn)；在重力測量中，經(jīng)典的自由落體重力儀和原子干涉重力儀都需要隔振系統。

地面振動(dòng)噪聲的來(lái)源和強度與時(shí)間、基礎和周?chē)h(huán)境密切相關(guān)，頻率為0.5Hz上述噪聲來(lái)源主要是周?chē)h(huán)境的噪聲，如建筑物、樹(shù)木的晃動(dòng)和人類(lèi)活動(dòng)。頻率在0.05~0.5Hz噪聲一般稱(chēng)為地球脈動(dòng)噪聲，主要來(lái)源是海浪撞擊海岸時(shí)在地殼中產(chǎn)生的表面波和體波，0.06~0.09Hz噪聲是沖擊產(chǎn)生的基頻，0.12~0.16Hz二次諧波的噪聲幅值往往大于基頻幅值。因此，為了有效隔離地球脈動(dòng)噪聲和周?chē)h(huán)境振動(dòng)噪聲，氣動(dòng)隔振系統的本征頻率須至少為0.05Hz，一般浮動(dòng)光學(xué)平臺或傳統隔振平臺難以滿(mǎn)足需求。

科磊(KLA)半導體設備氣動(dòng)隔振系統實(shí)現超低頻隔振的方法主要有兩種。一是利用低頻加速度計等傳感器反饋控制超低本征頻率，稱(chēng)為主動(dòng)隔振；二是超低本征頻率不采用反饋控制，稱(chēng)為被動(dòng)隔振。兩者都可以等效為彈簧振子系統。由于超低頻水平隔振的彈簧不需要平衡振子的重力，因此水平隔振系統比垂直隔振系統更容易實(shí)現。

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